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Humphrey pro control Servoid系列平衡比例閥為惰性氣體提供的壓力和流量控制性能。pro control servo id采用無摩擦的板簧電樞筒，結構簡單緊湊，性能，使用壽命長。平衡伺服閥在11磅/平方英寸的壓力下提供200 SLPM的流量。0-500、0-600和0-1000毫安的選項。預期10%遲滯和10 mLpm泄漏的性能。所有伺服閥都具有堅硬的金屬閥座，具有的流量提升重復性和準確性。