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Humphrey pro control Servoid系列不平衡比例閥為惰性氣體提供的壓力和流量控制性能。pro control servo id采用無摩擦的板簧電樞筒，結構簡單緊湊，性能，使用壽命長。提供兩種版本。低壓伺服閥在1.7 psid下的流量為170 SLPM，滯后為10%，泄漏為10 mLpm。高壓伺服閥在30 psid時的流量為200 SLPM，滯后為10%，泄漏為10 mLpm。所有伺服閥都具有堅硬的金屬閥座，具有的流量提升重復性和準確性。